物理百科知识专题：离子束刻蚀_物理百科-查字典物理网

查字典物理网> 物理广角> 物理百科> 物理百科知识专题：离子束刻蚀

物理百科知识专题：离子束刻蚀

查字典物理网 2016-01-30

学习可以这样来看，它是一个潜移默化、厚积薄发的过程。查字典物理网编辑了物理百科知识专题：离子束刻蚀，希望对您有所帮助!

离子束刻蚀，也称为离子铣，它的主要原理是当定向高能离子向固体靶撞击时，能量从入射离子转移到固体表面原子上，如果固体表面原子间结合能低于入射离子能量时，固体表面原子就会被移开或从表面上被除掉。通常离子束刻蚀所用的离子来自惰性气体。为了保证刻蚀的均匀性，离子束密度必须均匀并且应具有相同能量。此外，系统内的压力必须足够低，以防止离子束被散射。离子束刻蚀的机构决定了这种刻蚀有好的各向异性，又因为粒子尺寸是离子或原子量级的，因而这种刻蚀也具有较高的分辨率。这种技术的主要限制是刻蚀过程引起温升，这将使光刻胶很难除掉。

上面就是为大家准备的物理百科知识专题：离子束刻蚀，希望同学们认真浏览，希望同学们在考试中取得优异成绩。

查看全部

上一篇:物理百科知识专题：半导体传感器>
下一篇:物理百科知识专题：分子束外延>

附近的人在看

拓展阅读

物理视频: 人教2011课标版物理九年级15.2《电流和电路》教学视频实录-王伟; 人教2011课标版物理九年级15.2《电流和电路》教学视频实录-安顺市; 人教2011课标版物理九年级15.2《电流和电路》教学视频实录-聂玉华; 人教2011课标版物理九年级15.2《电流和电路》教学视频实录-侯彦辉; 人教2011课标版物理九年级15.1《两种电荷》教学视频实录-李峰; 人教2011课标版物理九年级15.2《电流和电路》教学视频实录-黄有健; 人教2011课标版物理九年级15.1《两种电荷》教学视频实录-孙浩; 2019河北中考物理大题杠杆定理和压强的综合题; 2019江苏省淮安市中考物理第8题根据两电阻的U; 人教2011课标版物理九年级15.1《两种电荷》教学视频实录-谢丽霞)

与"物理百科知识专题：离子束刻蚀"相关的文章

大家都在看

物理百科知识专题：离子束刻蚀

推荐文章

猜你喜欢

附近的人在看

推荐阅读

拓展阅读

物理视频

与"物理百科知识专题：离子束刻蚀"相关的文章

热门物理广角

大家都在看