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欧姆接触(Ohmiccontact)
欧姆接触(Ohmiccontact)
金属与半导体接触形成非整流的接触,即欧姆接触。它不产生明显的附加阻抗,也不会使半导体内部的平衡载流子浓度发生显著的改变。欧姆接触在实际中有很重要的应用。半导体器件一般都要利用金属电极输入或输出电流,这就要求在金属和半导体之间有良好的欧姆接触。在超高频和大功率器件中,欧姆接触是设计和制造的关键问题之一。制作欧姆接触最常用的方法是用重掺杂的半导体与金属接触,常常是在n型或p型半导体上作一层重掺杂区后再与金属接触,形成金属-n -n或金属-p -p结构。
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