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某些电介质,当沿着一定方向对其施力而使它变形时,内部就产生极化现象,同时在它的两个表面上产生符号相反的电荷,当外力去掉后,又重新恢复不带电状态,这种现象称为压电效应。利用这种效应可以把机械应力量转换成电量。压电半导体是兼有压电性质的半导体材料。CdS、CdSe、ZnO、ZnS、CdTe、ZnTe等Ⅱ-Ⅵ族化合物,GaAs、GaSb、InAs、InSb、AIN等Ⅲ-Ⅴ族化合物都属于压电半导体。它们具有一定的离子性,当施以应变时,正负离子会分开一定的距离,产生电极化,形成电场,发生压电效应。声波在这些压电材料中传播时也会产生压电电场,载流子便会受到该电场的作用。压电半导体兼有半导体和压电两种物理性能,因此,既可用它的压电性能研制压电式力敏传感器,又可利用其半导体性能加工成电子器件,将两者结合起来,就可研制出传感器与电子线路一体化的新型压电传感测试系统。
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